【儀表網(wǎng) 儀表上游】中共中央、國(guó)家主席、中央軍委主席于6月3日參觀國(guó)家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。
展覽以“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展、科技未來(lái)”為主題于2016年6月1-7日在北京展覽館舉辦，向公眾展示國(guó)家各領(lǐng)域科技創(chuàng)新改革取得的新進(jìn)展和新成果。展覽內(nèi)容共分“總況、重大專項(xiàng)、基礎(chǔ)研究、戰(zhàn)略高技術(shù)、農(nóng)業(yè)科技、民生科技、區(qū)域創(chuàng)新、大眾創(chuàng)業(yè)萬(wàn)眾創(chuàng)新、創(chuàng)新人才、融入創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)”等十個(gè)展區(qū)，《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（集成電路專項(xiàng)）成果位于主館一號(hào)展位，成績(jī)斐然，引人關(guān)注。
集成電路是信息化時(shí)代基礎(chǔ)重要的產(chǎn)品，是支撐我國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國(guó)家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。2008年后，隨著集成電路專項(xiàng)等重大專項(xiàng)的啟動(dòng)，我國(guó)開(kāi)始圍繞集成電路產(chǎn)業(yè)鏈加快部署創(chuàng)新鏈，并逐漸形成了產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈與金融鏈“三鏈融合”的發(fā)展局面。
集成電路專項(xiàng)重點(diǎn)布局在北京、上海、江蘇、沈陽(yáng)、武漢、深圳等6個(gè)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，對(duì)我國(guó)集成電路制造、裝備、材料及封裝產(chǎn)業(yè)鏈的形成和競(jìng)爭(zhēng)力的提高發(fā)揮了決定性作用，我國(guó)集成電路技術(shù)步入自主發(fā)展的快車道，為下階段大規(guī)模產(chǎn)業(yè)投入做了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)準(zhǔn)備。
專項(xiàng)實(shí)施前，我國(guó)集成電路制造裝備與材料基本空白，工藝技術(shù)依賴引進(jìn)。在集成電路專項(xiàng)支持下，刻蝕機(jī)、PVD、封裝光刻機(jī)等16種前道和15種后道裝備產(chǎn)品以及拋光劑、濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料通過(guò)大生產(chǎn)線考核進(jìn)入海內(nèi)外市場(chǎng)；集成電路成套工藝提升4代，55/40/28納米三代工藝實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，22納米先導(dǎo)平臺(tái)建成；系統(tǒng)封裝集成技術(shù)實(shí)現(xiàn)與同步發(fā)展；14納米先導(dǎo)工藝、裝備、材料及封測(cè)技術(shù)取得突破。專項(xiàng)已申請(qǐng)2.3萬(wàn)余項(xiàng)發(fā)明，專項(xiàng)成果已實(shí)現(xiàn)銷售1583億元，在企業(yè)總銷售中占比達(dá)56%。
本次展覽中，一批代表性企業(yè)和科研單位分別展示了基于專項(xiàng)研發(fā)成果形成的產(chǎn)品，包括：北京北方微電子公司的物理氣相沉積設(shè)備（PVD）、天津華海清科公司的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備（CMP）、沈陽(yáng)新松公司的物料搬運(yùn)天車系統(tǒng)等集成電路裝備；中芯、華力微電子、武漢新芯、華虹宏力、華潤(rùn)微電子、士蘭微電子、上海先進(jìn)、中科君芯、中車時(shí)代等企業(yè)的12英寸先進(jìn)工藝及8英寸特色工藝產(chǎn)品；長(zhǎng)電科技、通富微電、華天科技、蘇州晶方、華進(jìn)半導(dǎo)體、深南電路等集成電路封測(cè)企業(yè)的先進(jìn)封裝工藝產(chǎn)品；江豐電子的靶材、安集微電子的CMP拋光液、北京科華的光刻膠、南大光電的離子源、煙臺(tái)德邦的封裝材料等集成電路材料；七星華創(chuàng)公司的氣體質(zhì)量流量計(jì)、沈陽(yáng)富創(chuàng)公司的刻蝕機(jī)工藝腔室、清華大學(xué)的微動(dòng)臺(tái)、華卓精科公司的激光干涉儀、沈陽(yáng)科儀公司的干式真空泵機(jī)組等零部件。
集成電路專項(xiàng)的階段性成果和帶動(dòng)了我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力的顯著提升，未來(lái)必將為“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展”國(guó)家戰(zhàn)略的實(shí)現(xiàn)做出更大貢獻(xiàn)。
（原標(biāo)題：主席參觀國(guó)家“十二五”科技創(chuàng)新成就展集成電路展館）
