《氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第7部分：熱式質量流量控制器》征求意見

　　【儀表網 行業標準】近日，由西南化工研究設計院有限公司 、中國計量科學研究院 、中國測試技術研究院化學研究所 、大連大特氣體有限公司 、蘇州市華測檢測技術有限公司 、廣東華特氣體股份有限公司 、江西華特電子化學品有限公司 、昊華氣體有限公司西南分公司 、陜西液化天然氣投資發展有限公司 、深圳供電局有限公司 、上海華愛色譜分析技術有限公司等單位起草，TC206(全國氣體標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第7部分：熱式質量流量控制器》征求意見稿已編制完成，現公開征求意見。
 

　　動態法是制備校準用混合氣體的一大類重要方法，ISO為此專門編制了ISO 6145系列標準(ISO 6145-3氣流間歇注射法已廢止)。
 

　　GB/T 5275(所有部分)均等同采用ISO 6145系列標準。由于篇幅較長，ISO 6145分為11部分，GB/T 5275與ISO 6145保持一致，也對應地分為11部分。因ISO 6145-3已被廢止，GB/T 5275第3部分也對應地空缺。GB/T5275(所有部分)規定了動態法制備校準用混合氣體的通用要求，并具體規定了熱式質量流量控制器法等9種制備校準用混合氣體方法的原理、主要設備、制備注意事項、制備得到的校準用混合氣體組分體積分數計算及不確定度評定等技術要求，以確保制備得到的校準用混合氣體的質量，提高校準用混合氣體的制備水平。
 

　　本文件按照GB/T 1.1-2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。
 

　　本文件是GB/T 5275的第7部分。GB/T 5275已經發布了以下部分：
 

　　——氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第 1 部分：通用要求；
 

　　——氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第 2 部分：活塞泵；
 

　　——氣體分析 動態法體積法制備校準用混合氣體 第 4 部分：連續注射法；
 

　　——氣體分析 動態法體積法制備校準用混合氣體 第 5 部分：毛細管校準器；
 

　　——氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第 6 部分：臨界流銳孔；
 

　　——氣體分析 動態法體積制備校準用混合氣體 第 7 部分：熱式質量流量控制器；
 

　　——氣體分析 動態法體積制備校準用混合氣體 第 8 部分：擴散法；
 

　　——氣體分析 動態法體積制備校準用混合氣體 第 9 部分：飽和法；
 

　　——氣體分析 動態法體積制備校準用混合氣體 10 部分：滲透法；
 

　　——氣體分析 動態法體積制備校準用混合氣體 11 部分：電化學發生法。
 

　　本文件代替 GB/T 5275.7-2014《氣體分析 動態體積法制備校準用混合氣體 第 7 部分：熱式質量流量控制器》，除結構調整和編輯性改動外，主要技術變化如下：
 

　　——增加了驗證混合系統制備的校準用混合氣組成所依據的方法(見 8.3)；
 

　　——增加了體積分數計算的限制條件(見 8.1)；
 

　　——增加了不確定度公式中的偏導數計算過程(見附錄 C.2)；
 

　　——更改了上一版本中稀釋比計算的錯誤(見 7.1，2014 年版的 6.1)。
 

　　本文件等同采用ISO 6145-7：2018《氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第7部分：熱式質量流量控制器》。
 

　　本文件做了下列最小限度的編輯性改動：
 

　　——刪除了不確定度數字前的“±”符號(見 7.1)；
 

　　——更改了附錄 C 中計算公式中的編輯性錯誤(見 C.2)。
 

　　ISO 6145 是一系列涉及用于制備校準用混合氣體的各種動態方法的文件。本文件描述了使用熱式質量流量控制器，利用純氣或混合氣連續制備校準用混合氣體的方法。本文件適用于組分不發生反應的混合氣體，即組分不與構成熱式質量流量控制器或輔助設備流路的材質發生反應。
 

　　使用本文件給出的方法制備的校準用混合氣體所能達到的最好水平如下：相對測量擴展不確定度(由標準不確定度乘以包含因子 k=2 得到)U 不大于2%。
 

　　如使用預混合氣體代替純氣，能制備摩爾分數低于10-6的混合氣體。質量流量的測量不是絕對的，流量控制器需要單獨校準。
 

　　本文件方法的優點是能連續制備大量的校準用混合氣體，并且只要使用適當數量的熱式質量流量控制器，就能像制備二元混合物氣體一樣方便地制備多組分混合氣體。
 

　　熱式質量流量控制器動態法制備校準混合氣體為混合氣體制備的常用方法。本標準詳細規定了此方法的原理、裝置、制備方法及可行性分析、混合氣體體積或物質的量分數計算方法以及相關不確定度評定過程，并舉出了多項示例描述了方法的應用，對該方法的規范使用有著非常重要的意義。在動態制備混合氣體時，所選擇臨界流銳孔的性能參數、原料氣體的性質和制備條件、以及制備裝置其余各部件的性能狀況都影響著最終制備的混合氣體的量值準確度。編制相應的標準辦法，可為使用此方法的工作提供相應的指導，并與國際方法接軌。
 

　　校準用混合氣體作為現代工業必不可少的消耗型基礎原材料，校準用混合氣體質量的提升和使用效果的保證，勢必促進我國工業基礎能力的提升，故本項目滿足我國“工業強基”的要求，對推動我國經濟和社會的穩步發展有著十分重要的意義。
 

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