特點

高生產性

此裝置革新了運送機器的結構構成（包括裝、卸部件以及平臺速度和停止精度的提高），實現AF的高速化，通過可變像素實現測長區域的化，從而縮短MAM時間，與以往相比，提高了約40%的處理能力。

高分辨率

此裝置通過改良電子光學技術及圖像處理技術（降噪，改善邊緣銳度，圖像內部暗部強調），改善了Image Sharpness。

長期穩定性

• 再現性
  此裝置通過電子光學系統的穩定化，以及增加計量類型，可以實現測長區域的可設定性的可變像素，達到較高的再現性。
• 匹配
  此裝置使用平臺上的專用樣品，通過開發的多種自動校準功能，實現了長期穩定的匹配性能。
  特別是顯著改善了CG5000同一型號間的機型差異，實現了生產線管理的穩定化。

關聯產品

• 基于設計數據的計量系統