腐蝕性氣體分析質譜儀 返回列表頁

腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體，如反應中間產物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。

20年前，Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀，初期主要應用于半導體行業的特氣檢測，如毒性氣體AsH₃、B₂H₆、PH₃等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF₃等，強氧化性氣體如CIF₃、NF₃等。

20年來，Hiden在這一細分領域具有強大的產品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。

主要特點：

• 連接件電拋光工藝處理
• 取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
• 高靈敏度三級過濾四極桿
• 檢測限可達 5 ppb
• QGA專業版定量分析軟件