QPV（H）高速隔膜閥

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所在地北京市
更新時間2026-01-19

中科艾爾（北京）科技有限公司

廠商性質生產廠家
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　中科艾爾(北京)科技有限公司[原泰科愛爾(北京)科技有限公司]是專業研發、生產氣體管閥件的廠家。本公司引進了日本的*技術和設備，擁有一批專業過硬的技術團隊。

　品質是公司的生命。從接單、制造、組裝、檢驗到發貨，嚴格執行ISO-9001質量體系，引用SEMI、ANSI、ASTM、BS、JIS等多個標準確保產品質量和不同客戶的特殊需求。

　公司專注于高純和超高純氣體管閥件的研發和生產，先后攻克超高純氣體管閥件的超潔凈原材料，產品拋光技術和閥門金屬墊片面密封技術，打破*壟斷。

　公司自主研發制造的超潔凈不銹鋼材料和EP拋光工藝運用在Nα減壓器、Xα減壓器、隔膜閥、EP管、和UCR接頭上，制造出滿足半導體級氣體輸送要求的管閥件。

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產品簡介在線詢價

工作壓力：真空至145psig｜流量系數：0.27/0.62｜工作溫度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）

QPV（H）高速隔膜閥產品詳情

產品介紹

QPH（H）系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低漏率，長壽命，快速響應，可選耐高溫；適用于原子層沉積（ALD）系統，主要用于集成電路晶圓生產的環節。超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體。

主要部件材料

閥體 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA

工作條件

工作壓力真空至145psig
流量系數 0.27/0.62
工作溫度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
內漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
內表面粗糙度 Ra≤0.13μm

產品特點

快速響應下的超長使用壽命

耐高溫執行器

每臺閥門進行單獨氦質譜泄漏測試

可選的模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR® 端接

關鍵詞：隔膜閥

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