閥體 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
閥體 6063
工作壓力 真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.5
工作溫度 -10 ~ 70℃
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.1μm



































