中圖儀器白光干涉儀生產廠家直供,SuperViewW型號滿足現代工業數字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

產品特點
【3D測量,一覽無余】
采用白光干涉技術,結合具有優異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節。
【功能強大,參數齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。
【操作便捷,簡單明了】
直觀的操作界面,一目了然的操作流程,自動聚焦,一鍵實現測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量效率高。
【高重復精度,穩定可靠】
采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。
【廣泛應用,貼心服務】
可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……
從硅晶片到光纖端面,如何解決微觀粗糙度測量難題?
理論參數再好,不如實際應用場景有說服力。以下是白光干涉儀在不同高精尖領域的實際應用表現:
案例一:半導體晶圓檢測
1.挑戰:硅晶片表面極易受損,且粗糙度要求高(納米級)。
2.方案:采用白光干涉儀的非接觸模式,避免了探針劃傷 。
3.效果:實現了0.1nm級別的超光滑表面測量,RMS重復性優于0.008nm(Mini型設備WM100實測數據) 。
案例二:光纖端面分析
1.挑戰:光纖端面極小,全掃描浪費時間且效率低。
2.方案:利用“區域聚焦法”,針對端面中心250×250μm區域進行框選測量 。
3.效果:大幅減少了無效掃描范圍,縮短了單次測量時間,提升了檢測效率 。
案例三:大尺寸樣品拼接
1.挑戰:樣品尺寸超過單視野范圍,傳統拼接易出現接縫誤差。
2.方案:使用大尺寸自動拼接模式(支持方形、螺旋形等) 。
3.效果:實現了數千張干涉條紋圖像的無縫融合,完整還原了大尺寸樣品的表面形貌 。
無論您是科研院所還是制造企業,白光干涉儀都能助您攻克微觀測量難題。中圖儀器白光干涉儀生產廠家直供分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。
如需產品演示視頻、行業案例手冊或免費樣品測試,可聯系客服獲取。
注:產品參數與配置以實際交付為準,中圖儀器保留根據技術升級調整相關內容的權利,恕不另行通知。






































