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            潔凈檢測區(qū)的壓差控制原理-GTI115

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              2025年04月22日
            關(guān)鍵詞
            GTI,吉泰精密,半導(dǎo)體,差壓表,電子設(shè)備
            上傳者
            吉泰精密儀器(沈陽)有限公司
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            資料簡介

            當(dāng)車間產(chǎn)品異物高發(fā)時,工程師按照人機(jī)料法環(huán)測幾個方面排查原因,當(dāng)排查到環(huán)境時,無塵車間的壓差是必須要排查的。

            一、壓差控制原則:

            1、潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差,通常情況潔凈度高的區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域,使?jié)崈羰业臐崈舳炔皇艿轿廴究諝獾母蓴_

            2、不同級別的相鄰房間的壓差應(yīng)至少為10Pa。應(yīng)特別注意關(guān)鍵區(qū)域的保護(hù)。

            EU GMP/FDA :不同級別采用的壓差值為10-15Pa,建議12.5Pa。
            中國GMP2010版:要求潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間、不同級別潔凈區(qū)之間的壓差應(yīng)不低于10Pa。
            3、潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量,一般采用換氣次數(shù)法確定。


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