
進口氣體質量流量控制器 | LF485-S氣體質量流量控制器 | ||
流量范圍 | ≤10SLM | 流量范圍 | ≤10SLM |
量程比 | 50:1 | 量程比 | 50:1 |
精度 | ±1%S.P(設定流量>30%F.S) ±0.3%F.S(設定流量≤30%F.S) | 精度 | ±1%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S | 重復精度 | ±0.2%F.S |
線性精度 | ±0.5%F.S | 線性精度 | ±0.5%F.S |
閥門類型 | 常閉型 | 閥門類型 | 常閉型 |
響應時間 | ≤1S | 響應時間 | ≤1S |
耐壓 | 1Mpa | 耐壓 | 3Mpa 可選10Mpa |
溫度范圍 | 5—50℃ | 溫度范圍 | 5—50℃ |
電氣接口 | DB9針 | 電氣接口 | DB9針 |
電源 | ﹢15V±5% 150mA ﹣15V±5% 200mA | 電源 | +15——24VDC |
輸入輸出信號 | RS485 F-NET通訊協議 | 輸入輸出信號 | RS485 modbus協議 |
氣路連接 | VCR接頭 | 氣路連接 | 雙卡套、G螺紋連接 |
接觸材質 | 金屬密封 | 接觸材質 | 丁腈橡膠 氟橡膠 |
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