氣體質量流量控制器/氣體流量計在航空航天行業中的使用情況

來源：成都萊峰科技有限公司 2026年02月25日 07:24

隨著科學技術的發展，越來越多的氣體質量流量控制器在航空航天事業中廣泛應用。四川萊峰流體設備制造有限公司主要是生產熱式氣體質量流量控制器和質量流量計為主的廠家，LF系列的小中大流量量程的熱式氣體質量流量控制器和質量流量計在各行各業中都廣泛使用，特別是近幾年在航空航天中使用得非常多。

熱式氣體質量流量控制器在實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。假設MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量，因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。

LF系列的熱式氣體質量流量控制器是由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路組成，采用數字信號或模擬信號輸入輸出，具有預熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。

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