螺桿真空泵在運行過程中,需圍繞 “參數穩定、安全防護、系統適配” 三大核心,實時監控關鍵狀態并規避潛在風險,以保障設備長周期穩定運行。以下是需重點注意的問題,按 “參數監控、安全防護、系統適配、異常處理” 四大維度分類說明:
一、核心運行參數的實時監控與閾值控制
運行中需通過儀表或控制系統,持續跟蹤關鍵參數,一旦超出正常范圍,需立即排查原因,避免部件損壞或性能失效:
真空度穩定性
關注真空度是否持續符合工藝要求(如半導體工藝需≤1Pa,化工干燥需≤100Pa),避免真空度驟降(可能因進氣閥泄漏、密封墊破損、前置過濾器堵塞)或無法達到目標真空(可能因轉子間隙磨損、泵腔有殘留氣體);
若工藝中存在 “瞬時大流量進氣”(如反應釜泄壓),需觀察真空度波動幅度,避免因負荷突變導致電機過載,必要時通過旁通閥調節壓力。
溫度類參數控制
齒輪箱溫度:正常運行時應≤80℃,最高不超過 90℃;若溫度驟升(如超過 95℃),可能是潤滑油不足 / 變質(油質發黑、乳化)、軸承磨損,需停機檢查油位及油質,必要時更換潤滑油或軸承;
排氣溫度:水冷型≤120℃、風冷型≤150℃;若排氣溫度過高,可能是冷卻系統故障(水冷缺水、風冷風扇停轉)或進氣中含 “可凝性氣體”(如水蒸氣)未及時排出,導致壓縮過程放熱加劇,需優先檢查冷卻系統。
電機電流與負載
電機運行電流需≤額定電流的 110%(如 15kW 電機額定電流約 28A,最高不超過 30.8A);若電流持續超標,可能是進氣量過大(進氣閥開度突然增大)、轉子卡滯(泵腔內有異物)或電源電壓不穩,需先減小進氣量,若無效則停機檢查泵腔。
運轉聲音與振動
正常運行時應無 “異常噪音”:如 “咔噠聲” 可能是轉子與泵殼摩擦(間隙過小或轉子變形)、“嗡嗡過載聲” 可能是電機負荷過大、“尖銳異響” 可能是同步齒輪磨損;
若設備振動明顯(如底座螺栓松動、聯軸器不對中),需停機緊固螺栓或重新校準聯軸器,避免長期振動導致密封件失效或軸承損壞。
二、安全防護與特殊工況應對
若抽除腐蝕性、易燃易爆或含雜質的氣體,需額外注意安全防護,避免設備損壞或安全事故:
腐蝕性氣體的防護
確認泵體材質(如 316L 不銹鋼)、密封件(氟橡膠、PTFE)與氣體兼容(如抽鹽酸、氯氣需耐腐材質),避免長期運行導致泵腔腐蝕、密封失效;
定期檢查進氣端的 “耐腐蝕過濾器”(如 PP 材質濾芯),若濾芯堵塞(壓差≥0.02MPa)需及時清洗或更換,防止腐蝕性雜質進入泵腔。
易燃易爆氣體的防護
嚴禁在無防爆裝置的情況下抽除易燃易爆氣體(如甲烷、乙醇蒸氣),需配套 “阻火器”(安裝在排氣端,防止回火)和 “防爆電機”(符合 ATEX 或 IECEx 標準);
運行中避免泵腔溫度過高(如排氣溫度≤100℃,需低于氣體閃點),且排氣管道需接地(防止靜電積聚),禁止將排氣直接排入密閉空間。
含雜質 / 可凝性氣體的處理
抽除含粉塵、顆粒的氣體時,必須在進氣端安裝 “旋風分離器 + 絲網過濾器”,防止顆粒進入泵腔導致轉子磨損、間隙增大(若顆粒卡入轉子間隙,可能直接導致卡死);
抽除水蒸氣、有機溶劑蒸氣等可凝性氣體時,需在排氣端安裝 “冷凝器”,避免氣體在泵腔冷凝成液體(如積水會導致潤滑油乳化、齒輪銹蝕),同時定期排放冷凝器積液。
三、系統適配與操作規范
設備運行需與上下游系統(如進氣管道、真空儲罐、輔助裝置)適配,且嚴格遵循操作規范,避免人為失誤:
進氣與排氣系統的適配
進氣管道直徑需與真空泵進氣口匹配(管道直徑不小于進氣口直徑,避免因管道過細導致進氣阻力過大,抽速下降);
排氣管道需預留 “泄壓空間”,避免排氣背壓過高(通常背壓≤0.02MPa),否則會導致泵腔壓力升高、電機過載,甚至排氣端密封件損壞。
禁止違規操作
嚴禁 “帶負荷啟動”:開機前必須關閉進氣閥,待電機運行平穩后再逐步打開,避免啟動時泵腔壓力驟降導致轉子沖擊;
嚴禁 “無冷卻運行”:水冷型設備需確保冷卻水正常流通后再啟動,若冷卻水中斷,需立即停機,防止齒輪箱、泵腔過熱;
嚴禁 “超范圍使用”:不可將螺桿真空泵用于抽除 “高黏度液體”(如樹脂)、“金屬粉塵”(如鋁粉)或 “有毒氣體”(如氯氣,需額外配套尾氣處理系統),否則會導致設備不可逆損壞或安全事故。
四、異常情況的應急處理
運行中若出現以下異常,需按 “先停機、后排查、再處理” 的原則操作,避免故障擴大:
1. 真空度驟降
可能原因:進氣閥泄漏、密封墊破損、過濾器堵塞
應急處理措施:立即關閉進氣閥,停機檢查密封件和過濾器,更換損壞部件
2. 齒輪箱溫度快速超 90℃
可能原因:潤滑油不足 / 變質、軸承卡死
應急處理措施:緊急停機,檢查油位和油質,若油質發黑需更換潤滑油,必要時檢修軸承
3. 電機冒煙或電流超額定值 120%
可能原因:電機過載、繞組短路、轉子卡滯
應急處理措施:立即按下 “急停” 按鈕,斷開主電源,排查進氣量或泵腔異物,聯系電工檢修電機
4. 設備劇烈振動或有刺耳異響
可能原因:聯軸器不對中、齒輪磨損、轉子變形
應急處理措施:緊急停機,檢查聯軸器同軸度,拆解泵腔查看齒輪和轉子狀態,不可強行啟動
5. 冷卻水中斷(水冷型)
可能原因:水管堵塞、閥門誤關
應急處理措施:立即關閉進氣閥,停機檢查冷卻系統,疏通管道或打開閥門,待溫度降至 50℃以下再重啟
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