艾麗卡特ALICAT真空鍍膜、濺射質(zhì)量流量計/流量控制器

來源：晟旗科技（北京）有限公司 2023年05月19日 11:31

真空鍍膜系統(tǒng)內(nèi)凈化氣體和反應(yīng)氣體的輸入需要快速的響應(yīng)和精確的控制。

艾里卡特ALICAT質(zhì)量流量控制器和壓力控制器具有快速的控制響應(yīng)速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式，將不再需要EtherCAT轉(zhuǎn)換器，儀表也能更輕松地整合到工業(yè)PLC網(wǎng)絡(luò)中。

適用于CVD和ALD過程的防腐流量控制器

化學(xué)蒸汽沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）過程所用腐蝕性氣態(tài)和液態(tài)前驅(qū)體需要不會隨時間推移而被腐蝕的質(zhì)量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列（MC、MCES、MCVS）質(zhì)量流量控制器采用316L不銹鋼材質(zhì)的流量傳感器和FFKM彈性體，能夠忍受這些嚴酷的元素。

老化質(zhì)量流量控制器的插入式替代品

升級為艾里卡特質(zhì)量流量控制器非常簡單。我們的MCE系列產(chǎn)品滿足SEMI對連接長度的規(guī)范要求，它可通過插入方式與眾多其它生產(chǎn)商的舊版MFC兼容。艾里卡特MCV是舊版MFC的插入式替代品，配有集成式啟動截止閥。

適用于反應(yīng)濺射的快速氧氣流量控制

通過快速控制反應(yīng)氣體流量，確保薄膜涂層的均勻性。艾里卡特產(chǎn)品控制響應(yīng)時間僅50ms或更短，確保被引入您反應(yīng)濺射過程的反應(yīng)氣體保持一致且可重復(fù)。我們將根據(jù)您的預(yù)期過程條件設(shè)置每一臺流量控制器的PID調(diào)節(jié)功能，而且，如果您需要更改設(shè)置，您可在安裝后隨時更改這些設(shè)置。

響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動

多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。

相關(guān)產(chǎn)品

免責聲明

凡本網(wǎng)注明“來源：儀表網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-儀表網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：儀表網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非儀表網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。