探針臺(tái)如何選怎么用

探針臺(tái)如何選怎么用

推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，探針臺(tái)功不可沒。高校研究所做科研離不開探針臺(tái)，尤其是涉及到精密器件失效分析，電性能測(cè)試，那么平時(shí)采購(gòu)探針臺(tái)時(shí)，怎樣才能選到趁手的設(shè)備。

首先明確自己測(cè)試要求:待測(cè)樣品大尺寸多大？pad多大？需要同時(shí)搭配幾根探針，搭配什么儀器使用。

其次對(duì)設(shè)備有個(gè)整體的認(rèn)識(shí)，做到知己知彼。

附設(shè)備詳細(xì)說明

規(guī)格描述 

探針臺(tái)載物臺(tái)平整度：5μm

探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu)，可以抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測(cè)物

6英寸載物盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式，中心孔徑250μm-1mm

卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，標(biāo)配角度鎖定旋鈕

旋鈕可以控制載物盤X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為150mm，移動(dòng)精度為1μm

載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能，便于上下料

載物臺(tái)up/down功能（選項(xiàng)）

可以搭配金相高倍顯微鏡或體式顯微鏡，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍1英寸，移動(dòng)精度1um

可以搭配4顆探針座，進(jìn)行DC或者高頻測(cè)試 

可選附件

射頻測(cè)試探頭及電纜                                   有源探頭

低電流/電容測(cè)試                                      高壓模塊

激光修復(fù)                                             高清數(shù)字相機(jī)

探針卡/封裝/PCB板夾具                                Hot Chuck

防震桌                                               屏蔽箱 

兼容測(cè)試儀器

各種型號(hào)示波器                                       各種品牌型號(hào)的源表

安捷倫B1500、安捷倫4155、安捷倫4156                              Keithley 4200

各品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀                               

應(yīng)用領(lǐng)域

Failure analysis  集成電路失效分析                   Wafer level  reliability晶元可靠性認(rèn)證

Device characterization 元器件特性量測(cè)               Process modeling塑性過程測(cè)試(材料特性分析)

IC Process  monitoring  制成監(jiān)控                     Package part probing  IC封裝階段打線品質(zhì)測(cè)試

Flat panel probing 液晶面板的特性測(cè)試                PC board probing  PC主板的電性測(cè)試

ESD&TDR testing  ESD和TDR測(cè)試                        Microwave  probing  微波量測(cè)(高頻)

Solar太陽能領(lǐng)域檢測(cè)分析                              LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測(cè)分析  

機(jī)臺(tái)總述

重量：30kg（含顯微鏡）

尺寸：500mm寬*600mm長(zhǎng)*700mm高（含顯微鏡）

動(dòng)力需求：電源220V/1；4~6KG壓縮空氣 

儀準(zhǔn)科技公司是一家專業(yè)從事電子產(chǎn)品分析測(cè)試設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)以及*設(shè)備代理的整合商。旗下公司有儀準(zhǔn)科技（香港）有限公司、上海儀準(zhǔn)電子科技有限公司、儀準(zhǔn)科技（北京）有限公司、中國(guó)臺(tái)灣儀準(zhǔn)科技有限公司。形成了橫跨兩岸三地；集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的產(chǎn)業(yè)化模式。公司產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體IC業(yè)、面板行業(yè)、LED照明、太陽能等高科技領(lǐng)域。      

探針臺(tái)（點(diǎn)針工作站）是儀準(zhǔn)自主研發(fā)的一款產(chǎn)品，品牌ADVANCED于2002年進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。多年來公司產(chǎn)品以優(yōu)良的質(zhì)量、完善的售后服務(wù)體系、優(yōu)惠的價(jià)格贏得廣大客戶的好評(píng)。目前，儀準(zhǔn)在中國(guó)的總裝機(jī)量超過800臺(tái)，在中國(guó)市場(chǎng)有著非常高的*。   

公司宗旨：打造探針臺(tái)（點(diǎn)針工作站）第yi品牌，走向世界。

以上幾點(diǎn)都了解清楚了，我們選擇的設(shè)備用起來才得心應(yīng)手，為科研成果助力。