真空充氮烤箱

豪恩真空充氮烤箱是一款集成真空除氧、氮?dú)獗Ｗo(hù)與精密控溫于一體的工業(yè)高溫處理設(shè)備，核心是為易氧化材料提供無(wú)氧、干燥、潔凈的恒溫環(huán)境，解決高溫烘烤中的氧化、變色、起泡、脆化等問(wèn)題，廣泛用于電子、新能源、金屬、光電等精密制造領(lǐng)域。

一、核心工作原理

1. 真空抽取：內(nèi)置 / 外置真空泵快速將箱內(nèi)抽至高真空（0～-100kPa，極限≤265Pa），排盡氧氣、水汽與殘留空氣。

2. 氮?dú)庵脫Q：充入99.99%~99.999% 高純氮?dú)?/span>，將氧含量降至 **≤100ppm（可選≤10ppm）**，形成惰性保護(hù)氛圍。

3. 加熱循環(huán)：翅片式加熱管 + 強(qiáng)制熱風(fēng)循環(huán)（水平 / 垂直送風(fēng)），配合PID+SSR 智能控溫，實(shí)現(xiàn) **±1℃** 級(jí)溫度均勻性。

4. 動(dòng)態(tài)平衡：微正壓持續(xù)充氮 + 自動(dòng)排氣，防止外界空氣滲入，同時(shí)排出濕氣與溶劑廢氣。

二、結(jié)構(gòu)與規(guī)格參數(shù)

1. 箱體結(jié)構(gòu)

• 內(nèi)箱材質(zhì)：SUS304/316 鏡面不銹鋼，滿焊工藝，耐酸堿、易清潔、無(wú)粉塵污染。

• 外箱材質(zhì)：SECC 鋼板 + 高級(jí)烤漆，堅(jiān)固防銹。

• 密封系統(tǒng)：多層耐高溫氟橡膠 / 纖維密封條，真空保壓強(qiáng)、氮?dú)庑孤┞蕵O低。

• 門體：?jiǎn)?/ 雙開(kāi)門，配鋼化玻璃視窗（可選）+ 安全聯(lián)鎖，加厚保溫層。

• 結(jié)構(gòu)形式：一體式（內(nèi)置真空泵）、分體式（外置真空泵）。

• 腳輪：萬(wàn)向帶剎車，移動(dòng)定位便捷。

2. 核心技術(shù)參數(shù)（豪恩標(biāo)準(zhǔn)系列）

• 溫度范圍：RT+10℃～200℃/250℃/300℃（定制可達(dá) 500℃）

• 控溫精度：±0.5℃；溫度均勻度：±1℃～±2℃

• 真空度：0～-100kPa（可選高真空≤1Pa）

• 氮?dú)饧兌?/span>：≥99.99%（用戶自備）

• 氮?dú)鈮毫?/span>：3～4Kg/cm2；流量：10～100L/min（精密可調(diào)）

• 內(nèi)箱尺寸：30×30×30cm～100×100×100cm（可非標(biāo)定制）

• 電源：AC220V 50Hz / AC380V 50Hz；功率：3.5KW～20KW

• 控制方式：按鍵面板 / PLC 觸摸屏，可程式設(shè)定（多段升溫 / 保溫 / 降溫）

三、核心功能與優(yōu)勢(shì)

1. 防氧化

• 真空 + 充氮雙重?zé)o氧環(huán)境，杜絕氧化、發(fā)黑、泛黃、焊盤(pán)腐蝕、金屬脆化、樹(shù)脂碳化等缺陷。

• 適用于裸芯片、金線 / 銅線、銀膠、LED 熒光粉、鋰電池材料等敏感材質(zhì)。

2. 高效除水脫泡

• 真空低壓環(huán)境加速水分 / 溶劑揮發(fā)，干燥效率比普通烘箱高 30%～50%。

• 適用于 PCB、陶瓷基板、芯片除潮，固晶膠 / 銀膠固化脫泡，避免爆板、分層、氣孔。

3. 精準(zhǔn)溫控與節(jié)能

• PID+SSR 無(wú)觸點(diǎn)控制，溫度波動(dòng)≤±0.5℃，溫場(chǎng)均勻。

• 加厚高密度保溫層 + 熱風(fēng)循環(huán)，升溫快、熱損耗小、節(jié)能 30%+。

4. 安全與智能

• 多重保護(hù)：超溫?cái)嚯姟⑦^(guò)流保護(hù)、真空壓力保護(hù)、氮?dú)猱惓?bào)警、防爆排氣閥。

• 實(shí)時(shí)監(jiān)控：溫度、真空度、氮?dú)饬髁俊⒀鯘舛龋蛇x），數(shù)據(jù)可記錄導(dǎo)出。

5. 潔凈環(huán)保

• 全不銹鋼內(nèi)腔 + 密封設(shè)計(jì)，無(wú)粉塵、無(wú)二次污染，滿足 Class 100 級(jí)潔凈室要求。

四、主要應(yīng)用領(lǐng)域

1. 電子半導(dǎo)體：芯片 / 晶圓烘烤、IC 封裝固化、PCB/PCB 板除濕除應(yīng)力、SMT 濕敏元件（MSL）復(fù)烤、LED / 光電元件防氧化處理。

2. 新能源電池：鋰電池正 / 負(fù)極材料煅燒、電芯 / 極片真空干燥、隔膜除水、電池極耳防氧化退火。

3. 金屬與精密加工：鈦合金 / 銅 / 鋁等有色金屬熱處理、粉末冶金燒結(jié)、金屬零件防氧化回火、貴金屬退火。

4. 光電與陶瓷：陶瓷基板 / 元件燒結(jié)、石英晶體干燥、光學(xué)鏡片鍍膜前處理。

5. 其他：醫(yī)藥中間體干燥、精密傳感器除潮、復(fù)合材料固化、科研實(shí)驗(yàn)無(wú)氧高溫處理。

五、標(biāo)準(zhǔn)使用步驟

1. 準(zhǔn)備：放入物料→關(guān)門→檢查密封→連接氮?dú)庠磁c真空泵。

2. 抽真空：?jiǎn)?dòng)真空泵，抽至設(shè)定真空度后關(guān)閉抽氣閥。

3. 充氮?dú)?/span>：打開(kāi)氮?dú)忾y，充入氮?dú)庵廖⒄龎海?.02～0.05MPa），可反復(fù)置換 2～3 次提升純度。

4. 加熱運(yùn)行：設(shè)定溫度 / 時(shí)間→啟動(dòng)加熱→熱風(fēng)循環(huán)恒溫處理。

5. 結(jié)束冷卻：到達(dá)時(shí)間后停止加熱，自然冷卻至 60℃以下。

6. 出料：緩慢放氣→開(kāi)門→取出物料。

六、保養(yǎng)與維護(hù)

1. 日常：每次使用后清潔內(nèi)箱、門封條，無(wú)雜物殘留。

2. 每周：檢查真空泵油位，油液渾濁時(shí)更換；清潔氮?dú)膺^(guò)濾器。

3. 每月：檢查門封條密封性，破損及時(shí)更換；校驗(yàn)溫度傳感器精度。

4. 每季度：檢查真空管路、氮?dú)夤苈酚袩o(wú)泄漏；清潔循環(huán)風(fēng)扇與加熱管表面灰塵。

5. 年度：整機(jī)電氣安全檢測(cè)，更換老化電氣元件與密封件。

七、選型要點(diǎn)

• 溫度需求：常規(guī)≤300℃；高溫材料選 500℃定制型。

• 真空度：普通除水用 - 0.095MPa；精密芯片 / 金屬用高真空≤10Pa。

• 氧含量：常規(guī)≤100ppm；芯片 / 貴金屬選≤10ppm。

• 尺寸：按物料大小與產(chǎn)量選內(nèi)箱尺寸，支持非標(biāo)定制。

• 控制：基礎(chǔ)用按鍵版；制程用 PLC 觸摸屏 + 程式編程。