氣體流量自動調(diào)節(jié)控制閥

   松盛測控的氣體流量自動調(diào)節(jié)控制閥，可以精 準的控制各種氣體的進氣流量，而且可以根據(jù)自動程序控制器進行有序、預(yù)設(shè)的流量調(diào)節(jié)。測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制，即是完成MFC的功能。

   氣體流量自動調(diào)節(jié)控制閥在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

   在標準型流量控制器的基礎(chǔ)上為各種復(fù)雜工況設(shè)計，可在高壓環(huán)境10Mpa下進行氣體流量的測量和控制，精度優(yōu)于±1.0%滿量程。同時，還有一體顯示的氣體流量計，觸屏式操作的自由切換，實時顯示瞬時流量、累計流量、通訊方式、通訊地址等參數(shù)信息，助力您高效、精準的進行實驗研究。