細說氣體質量流量控制器和流量計

   成都松盛測控技術有限公司生產和銷售的AC和DC系列的氣體質量流量計，均采用熱式毛細管原理制成。首先來說說質量流量計的表示單位。氣體質量流量單位一般以sccm (Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm (Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來表示。標準狀態規定為: 氣壓101325Pa (760mm Hg); 溫度20°C(293.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm、 slm不同于mL/min、 L/min 之處。這就表示目前指示的流量均是標準狀態下的流量。

   接下來是不同氣體的質量流量換算?儀器出廠時一般是按氮氣標定，用氮氣流量確定流量規格和型號。用戶在訂貨時明確了使用介質的話，就按照用戶實際使用介質標定。用同一規格的流量控制器或流量計測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。那是就需要在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數。在測量過程中，以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量，反之，在確定所購產品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數，即是相應的氮氣標定產品的流量值。空氣、氮氣、氧氣、氫氣或是低含量的標準混合氣等氣體，其轉換系數約為1.0，一般可直接用按氮氣標定顯示的產品即可。

   今天就淺聊兩點質量流量計的特點，后面在從質量流量控制器的壓力、使用方法、以及使用禁忌等方面進行介紹。