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外部壓力要求:
Mensor壓力控制器CPC6000氣源要求對(duì)于一個(gè)壓力通道,壓力變送器量程之上 10% 或壓力變送器之上 20 psi,取二者較小者。小心如果在控制器內(nèi)部殘余高壓的情況下從 CPC6000 上斷開供應(yīng)壓力,可能導(dǎo)致調(diào)節(jié)器損壞。在斷開供應(yīng)壓力之前,請(qǐng)排空CPC6000 中的氣體。
排氣要求
要實(shí)現(xiàn)負(fù)壓控制,必須配備一個(gè)真空源。
控制壓力穩(wěn)定性
主動(dòng)量程范圍的 0.003%。顯示穩(wěn)定標(biāo)記 10 秒鐘后一般優(yōu)于測(cè)量范圍的 0.001%。
每種類型調(diào)節(jié)器中可用的傳感器測(cè)量范圍
LP SVR:0-1 psig 到 0-50 psig(0-5 psia 到 0-50 psia)。
MP SVR:0-10 psi 到 0-150 psi。
HP SVR:0-75 psi 到 0-1500 psi。
最小控制壓力
排氣壓力之上 0.05% FS 或 0.025 psi,取二者較大者。
控制時(shí)間
對(duì)于 50cc 容積中 10% 步進(jìn)壓力變化,10 秒鐘后顯示穩(wěn)定標(biāo)記。容積越大,此時(shí)間越長(zhǎng)。控制到低于 0.5 psia 的壓力時(shí),此時(shí)間也會(huì)延長(zhǎng)。
壓力控制速率
慢速、中速、快速(默認(rèn))。
供氣消耗
穩(wěn)態(tài)控制下 < 2.5 scfh。
超調(diào)
低超調(diào)模式:< 主動(dòng)量程的 0.005%。
高速模式:< 主動(dòng)量程的 1%。
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