Mensor壓力控制器 CPC6050泵調節器模塊控制規格如下:
氣源要求
快速模式:壓力變送器量程之上 10%。
慢速模式:無。
備注:氣源壓力與最小控制壓力之差必須小于 30 psi。通過良好
調節氣源壓力可以提升性能。
排氣要求
快速模式:要實現負壓控制,必須配備一個真空源。
慢速模式:無。
控制壓力穩定性
快速和慢速模式:主動量程范圍的 0.003%,顯示穩定標記后 10 秒鐘后一般優于測量范圍的 0.001%。
可用傳感器量程
快速模式:絕壓:0 至 5 psia 到 0 至 30 psia
表壓:0 至 .36 psig 到 0 至 15 psig
雙向:-.18 至 +.18 psi 到 -大氣壓至 15 psig
慢速模式:絕壓:0 至 5 psia 到 0 至 30 psia
表壓:0 至 .36 psig 到 0 至 15 psig。
最小控制壓力
CPC6000快速和慢速模式:排氣壓力之上 0.05% FS 或 .05 psi,取二者較大者。絕壓量程上的最小控制點為 .5 psia。
壓力控制速率
快速模式:快速控制模式使用初級閥。
慢速模式:慢速模式只使用泵。
控制時間
快速模式:對于 50cc 容積中 10% FS 步進壓力變化,10 秒鐘后顯示穩定標記。容積越大,此時間越長。控制到較低絕壓時,此時間會延長。
慢速模式:對于 50cc 容積中 10% FS 步進壓力變化,15 秒鐘后顯示穩定標記。容積越大,此時間越長。控制到低于 0.5 psia 的壓力時,此時間會延長。
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