氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時(shí)間對(duì)工藝的影響

   隨著越來越多的用戶使用氣體質(zhì)量流量控制器，目前用戶在產(chǎn)品性能方面，也提出了很多高標(biāo)準(zhǔn)和要求，比如：精度、穩(wěn)定性、耐壓、響應(yīng)時(shí)間等等。今天就簡(jiǎn)單的聊聊，氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時(shí)間問題。

   目前國產(chǎn)產(chǎn)品中精度等級(jí)高的就是0.35%F.S，常規(guī)產(chǎn)品的使用精度都在±1%F.S；進(jìn)口產(chǎn)品的精度能達(dá)到±1%SP。產(chǎn)品的耐壓等級(jí)可根據(jù)流量大小的不一樣，分為：3Mpa和10Mpa。

   熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)作為新型的氣體流量調(diào)節(jié)控制裝置主要是利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測(cè)電壓與流過通道的流量成比例。

   氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時(shí)間，根據(jù)生產(chǎn)原理的不同會(huì)有不同時(shí)間反應(yīng)，一般芯片式或差壓式原理的控制器響應(yīng)時(shí)間會(huì)快于毛細(xì)管式的。在響應(yīng)時(shí)間上，進(jìn)口產(chǎn)品和國產(chǎn)產(chǎn)品也是很有差異的。