高精度壓力傳感器標定系統助力半導體行業

在諸如硅傳感制造、消費電子制造等半導體行業的儀器開發和生產中對壓力測量和控制儀器儀表都有著高精度和高可靠性的要求，這就對半導體行業的壓力校準設備，如壓力控制器、壓力校驗臺、壓力傳感器標定設備等提出了更高的要求。

CPC3050型威卡壓力控制器內部配備兩個參考傳感器和一個氣壓基準，可提供廣泛的壓力控制范圍，并模擬絕壓或表壓類型。并使用專為高速壓力控制而設計的調壓器技術，非常適合半導體行業的自動化生產和生產線的生產線末端測試。除了高速之外，0.02 % FS 精度還為專為半導體行業的儀器開發和生產的眾多儀器提供了足夠的校準要求。

HSIN6800全自動壓力傳感器校驗臺采用全智能壓力控制，主要由威卡壓力控制器、智能氣路控制器和氣體增壓裝置組成，雙通道可獨立使用，互不影響，可內置8個量程段，內置0.001%的大氣參考，實現表壓和絕壓的自由切換。校驗臺能實現一次性全自動校驗多支壓力傳感器，避免外界因素的干擾，準確性高，還能夠為壓力傳感器提供恒定的壓力，保證壓力傳感器感應到的信號為壓力信號，精度高，是保證制半導體行業壓力傳感器量值溯源準確性的理想校準設備。

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