深圳市藍(lán)月測(cè)控技術(shù)有限公司
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閱讀：20發(fā)布時(shí)間：2025-12-16
半導(dǎo)體制造過程中，潔凈室的空氣潔凈度直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量與合格率，微小的塵埃粒子可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元件性能異常甚至報(bào)廢，因此需要專業(yè)的塵埃粒子計(jì)數(shù)儀器對(duì)潔凈室空氣進(jìn)行精準(zhǔn)監(jiān)控，6 通道粒子計(jì)數(shù)器作為符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的專業(yè)設(shè)備，在半導(dǎo)體制造潔凈室中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。這款 6 通道粒子計(jì)數(shù)器符合國(guó)家計(jì)量總局頒布的 JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)程的技術(shù)要求，同時(shí)也滿足 GB/T 6167-2007 標(biāo)準(zhǔn)，整機(jī)采用激光散射技術(shù)，能夠?qū)Π雽?dǎo)體制造潔凈室的粒子濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)、連續(xù)的監(jiān)控，確保潔凈室環(huán)境始終符合生產(chǎn)需求。
在半導(dǎo)體制造潔凈室中，不同粒徑的塵埃粒子對(duì)生產(chǎn)的影響不同，6 通道粒子計(jì)數(shù)器能夠同時(shí)檢測(cè) 0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm 六個(gè)通道的粒子個(gè)數(shù)，覆蓋了半導(dǎo)體制造過程中需要重點(diǎn)關(guān)注的粒子粒徑范圍，其檢測(cè)范圍可達(dá) 1,020,000 /L，能夠滿足半導(dǎo)體制造潔凈室對(duì)不同濃度粒子檢測(cè)的需求。該儀器采用泵吸主動(dòng)采樣方式，采樣流速可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)且可控，采樣間隔也能根據(jù)半導(dǎo)體潔凈室的不同監(jiān)測(cè)需求進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)支持泵吸間歇采樣，工作連續(xù)穩(wěn)定且節(jié)能環(huán)保，適配半導(dǎo)體制造過程中長(zhǎng)時(shí)間、不間斷的監(jiān)控場(chǎng)景。考慮到半導(dǎo)體制造潔凈室對(duì)潔凈度等級(jí)要求，這款 6 通道粒子計(jì)數(shù)器能夠滿足百級(jí)以上潔凈環(huán)境的粒子檢測(cè)需要，符合 ISO 14644-1 ISO5 級(jí) - ISO9 級(jí)的監(jiān)控級(jí)別，同時(shí)也符合 GMP 動(dòng)態(tài)、GMP 靜態(tài)以及 ISO-14644-1 的判定要求，適配半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體制造潔凈室的環(huán)境參數(shù)會(huì)對(duì)檢測(cè)精度產(chǎn)生影響，6 通道粒子計(jì)數(shù)器內(nèi)置濕度補(bǔ)償功能，能夠有效克服濕度變化對(duì)檢測(cè)精度的干擾，確保在相對(duì)濕度 10~90% RH 的使用環(huán)境下，依然能保持準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果，其重復(fù)性相對(duì)誤差在相同測(cè)量條件下為粒子濃度連續(xù)測(cè)量值 ±10%，粒徑分布誤差≤±10%@0.5μm，計(jì)數(shù)效率達(dá)到 50%@0.3μm、99%@≥0.5μm，為半導(dǎo)體制造潔凈室提供可靠的檢測(cè)數(shù)據(jù)。儀器選用長(zhǎng)壽命氣泵，在設(shè)備出廠模式下使用壽命可達(dá) 3 年以上，減少了半導(dǎo)體工廠在設(shè)備維護(hù)和更換上的成本與精力投入；配備的 4.3 寸 LCD 大屏能夠清晰呈現(xiàn)各通道實(shí)時(shí)檢測(cè)數(shù)據(jù)，方便工作人員隨時(shí)查看潔凈室的粒子濃度情況；同時(shí)具備數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，可存儲(chǔ)歷史檢測(cè)數(shù)據(jù)和報(bào)警記錄，便于半導(dǎo)體制造過程中對(duì)潔凈室環(huán)境的追溯與分析，為生產(chǎn)工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
針對(duì)半導(dǎo)體制造潔凈室可能存在的粒子濃度超限問題，6 通道粒子計(jì)數(shù)器支持報(bào)警濃度設(shè)置，當(dāng)潔凈室粒子濃度超，顯示屏?xí)霈F(xiàn)提示圖符警示，同時(shí)輸出聲光報(bào)警信號(hào)，工作人員能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理潔凈度異常情況，避免不合格環(huán)境影響半導(dǎo)體生產(chǎn)。在安裝與使用方面，該儀器整體重量?jī)H 2.3kg，外形尺寸為長(zhǎng) 190× 寬 63× 高 156.3mm，小巧美觀，可選擇墻面安裝或桌面放置，適配半導(dǎo)體制造潔凈室不同的安裝空間需求；采用 12VDC 供電，提供一路 RS485 輸出且支持 MODBUS RTU 協(xié)議，方便進(jìn)行組網(wǎng)使用，同時(shí)可擴(kuò)展 4G、LORA、WIFI 無線傳輸方式，還支持 RJ45 以太網(wǎng)傳輸及 TCP/IP MQTT、HTTP 協(xié)議，能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體制造潔凈室的多點(diǎn)監(jiān)控，覆蓋潔凈室的各個(gè)生產(chǎn)區(qū)域，確保整體環(huán)境的潔凈穩(wěn)定。
這款 6 通道粒子計(jì)數(shù)器憑借其精準(zhǔn)的檢測(cè)能力、穩(wěn)定的性能和靈活的適配性，成為半導(dǎo)體制造潔凈室空氣潔凈度監(jiān)控的重要設(shè)備，為半導(dǎo)體產(chǎn)品的高質(zhì)量生產(chǎn)提供保障，也為半導(dǎo)體工廠的潔凈室管理提供了便利，是半導(dǎo)體行業(yè)潔凈環(huán)境監(jiān)控中的塵埃粒子計(jì)數(shù)儀器。
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