微觀細節捕捉不足？大區域測量斷層、數據重復性差？中圖儀器共聚焦顯微鏡（VT6000系列）3D+2D全維測量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數，包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設備滿足多維度檢測需求

一、有哪些產品功能？

1.3D+2D全維測量

同步實現微觀3D形貌表征與長度、角度、半徑等二維尺寸測量，一臺設備滿足多維度檢測需求。

2.大行程靈活適配

VT6100（100×100mm）、VT6200（200×200mm）、VT6300（300×300mm）三款型號，覆蓋不同尺寸工件，其中VT6300搭載12英寸真空吸盤，適配超大工件穩定測量。

3.智能化高效處理

調整、糾正、濾波、提取四大數據模塊+五大分析工具，支持自定義模板，批量文件快速分析，數據自動生成統計圖表。

4.便捷安全操作

X/Y/Z三軸集成操縱桿，速度、光源亮度一鍵調節；Z軸機械電子傳感器+鏡頭彈簧結構，雙重防撞，消除人為操作風險。

二、有哪些核心價值？

三、應用案例

1.半導體行業：為頭部晶圓制造企業提供VT6300設備，檢測激光燒蝕槽道幾何輪廓，重復性≤12nm，助力封裝良率提升18%；

2.3C電子行業：為玻璃屏廠商適配VT6200，200×200mm全域平面度測量效率提升40%，人力成本減少2/3；

3.科研院所：為MEMS器件研發提供VT6100，支持復雜微結構3D參數分析，加速技術轉化周期。

中圖儀器共聚焦顯微鏡助您降低返工成本、縮短生產周期，節省人力開支！如需獲取對應行業定制方案、型號參數對比表或免費樣品測試，歡迎直接咨詢客服。

注：產品參數與配置以實際交付為準，廠家保留根據技術升級調整相關內容的權利，恕不另行通知。