產品介紹：
該光學顯微鏡檢查設備主要應用于LCD 、PDP 、PCB等相關光電產業，為其研發、品質管控與不良分析提供必需的檢測設備。可對應觀察OLB壓接粒子分布、LCD面板異物/劃傷等不良，以及導電粒子粒徑測量等功能。
該產品的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析、多軸運動速度控制、以及光學系統調節功能(光源調節、倍率調節、焦距自動調節等功能)，與同行業軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優勢。
產品參數：
運動行程（ mm） | X:1200 Y :200 0（ 電動） |
玻璃臺尺寸（ mm） | 1480*2258 |
調焦行程（ mm） | Z軸10 0（ 電動） |
主顯微鏡系統 | 三目頭 |
示值誤差（ um） | 視場外精度X.Y小于等于（ 3+L/200 ），Z小于等于（ 5+L/200 ） |
照明系統 | 鹵素燈表面光及LED光 |
操作臺 | 定制型操作臺 |
驅動系統 | 三軸伺服電機驅動 |
CC D | 500萬像素 |
外形尺寸（ mm ）長X寬X高 | 3300*2100*1750 |
儀器重量（ k g） | 5300 |
玻璃臺承重（ k g） | 30 |
電源 | 220V ±10% 50HZ |
運行高度（m m） | 950 |
測量軟體 | 完整的畫面實時二維量測/自動保存圖片/錄像功能/ 實時坐標定位/指定的F older和Ser ver上保存Imag e 支持多款控制器/支持多款工業相機/圖像掃描拼接 |
