●采用高脫鹽率反滲透膜，脫鹽率高，運(yùn)行壓力低，壽命可靠。
●采用全自動控制，自動制水、儲水、送水，不需專人守護(hù)，隨用隨取。
●高脫鹽率、高回收率，節(jié)約用水成本。
●系統(tǒng)設(shè)有停水、停電、過載的自動保護(hù)功能，確保設(shè)備安全。
●系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)在線檢測，數(shù)字化顯示準(zhǔn)確直觀。
●操作面板人性化設(shè)計(jì)，操作簡單、易懂。
系統(tǒng)運(yùn)行時震動小、噪聲小，對工作環(huán)境無影響。
高水質(zhì)保障：能生產(chǎn)出電阻率高達(dá) 18MΩ?cm 以上，總有機(jī)碳（TOC）含量低于 5ppb，顆粒計(jì)數(shù)達(dá)到每毫升個位數(shù)甚至更低水平的超純水，滿足晶圓清洗對水質(zhì)的**要求。
自動化程度高：配備**的 PLC 控制系統(tǒng)，可實(shí)時監(jiān)測和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)自動運(yùn)行、自動調(diào)節(jié)、自動保護(hù)和故障報警，減少人工操作和維護(hù)成本。
穩(wěn)定可靠運(yùn)行：采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門等關(guān)鍵部件，經(jīng)過嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和測試，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定可靠，能夠長時間連續(xù)供應(yīng)高質(zhì)量的超純水，確保晶圓清洗工藝的連續(xù)性。
靈活定制化：可根據(jù)不同的生產(chǎn)規(guī)模、水質(zhì)要求和工藝需求，進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)和定制化配置，方便設(shè)備的安裝、調(diào)試和擴(kuò)展。
節(jié)能環(huán)保：采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程，降低能耗；同時，EDI 技術(shù)的應(yīng)用減少了酸堿廢水的排放，符合環(huán)保要求。
