| 測定范圍 | Z:50mm X:100mm |
| 測定精度 | Z:±0.25%/全量程 |
| X軸光柵尺分解能 | 0.1μm |
| 測定倍率 | 縱橫均為1~200倍 |
| 上下移動范圍 | 200mm |






























