外殼材料用不脹鋼和微晶玻璃；
15、35、70um的移動(dòng)距離；
分辨率高達(dá)納米級(jí)；
1ms響應(yīng)時(shí)間；
安裝方便簡(jiǎn)潔；
特別適用于OEM應(yīng)用；
掃描顯微探針；
硬盤磁頭測(cè)試；
近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡；
精密工程……
參數(shù) | 符號(hào) | 值 | 單位 | 備注 | |||
靜態(tài)參數(shù) |
| 4~20mA（500Ω阻抗）或0~10V |
|
| |||
型號(hào) |
| S | M | L |
|
| |
材料 |
| 不脹鋼和微晶玻璃 |
|
| |||
長(zhǎng)度 |
| 42.2±0.3 | 76.7±0.3 | 127.8±0.3 | mm |
| |
直徑 |
| 20±0.15 |
|
| mm |
| |
凈重（不包含電纜和接頭） |
| 70 | 110 | 170 | g |
| |
線纜長(zhǎng)度 |
| 2040±40 |
|
| mm |
| |
*移動(dòng)范圍 | dxp·max | >15 | >35 | >70 | μm |
| |
負(fù)荷 |
| 5 | 5 | 5 | Kg | ① | |
動(dòng)態(tài)參數(shù) |
| ||||||
工作溫度 |
| +10~+50 |
|
| ℃ |
| |
儲(chǔ)存溫度 |
| 0~+70 |
|
| ℃ |
| |
相對(duì)濕度 |
| 5~95（無(wú)冷凝） | % |
| |||
工作壓力 | -VAC | 10-3~10-5 | t |
| |||
-UVAC | 10-3~10-9 | t |
| ||||
響應(yīng)時(shí)間 | txs·s | 1 | 4.3 | 25 | ms |
| |
*位置噪音（1δ） | δXp·n | 1（使用低噪聲控制器為0.5） | nm | ② | |||
誤差 |
|
|
|
| |||
*磁滯 | δxp·hyst | ≤1 | nm |
| |||
*線性度 | δxp·lin | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | % | ③ | |
重復(fù)性 |
| ≤1 | nm |
| |||
注意：
這些參數(shù)由各轉(zhuǎn)換器實(shí)測(cè)并提供的。
DP在Z軸方向能承受的負(fù)載。
②、真實(shí)位置噪聲。
③、滿量程的相對(duì)誤差。
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